Laboao CVD-LTF16T80S вакуумная трубчатая печь
Вакуумная трубчатая печь Laboao CVD-LTF16T80S представляет собой прибор, который обеспечивает экспериментальную среду с вакуумом, контролируемой атмосферой и высокой температурой, и используется в таких передовых областях, как полупроводниковая промышленность, нанотехнологии, производство углеродного волокна и другие.
Данная система роста специально адаптирована для процессов химического осаждения из паровой фазы (CVD), включая такие задачи, как нанесение покрытий из карбида кремния, испытание проводимости керамических подложек, контролируемый рост наноструктур оксида цинка, спекание керамических конденсаторов (MLCC) в контролируемой атмосфере и многие другие эксперименты, требующие точной термообработки в реакционных средах. Печь изготовлена из поликристаллического муллитового волокна с использованием технологии вакуумной адсорбции, благодаря чему температурное поле внутри рабочей зоны является исключительно равномерным, а энергосбережение составляет более 50% по сравнению с традиционными огнеупорными материалами.
Самостоятельно разработанная технология отвода воздуха и теплоизоляции обеспечивает длительный срок службы каждого компонента внутри корпуса и постоянство температурных характеристик на протяжении всего срока эксплуатации. При запуске электрической печи одновременно автоматически включается вытяжной вентилятор, который отводит излишки тепла от наружных поверхностей. После завершения испытания вытяжной вентилятор продолжает работать до тех пор, пока температура корпуса печи не снизится ниже 60°C, после чего он автоматически останавливается, что эффективно защищает поверхность корпуса печи от перегрева и продлевает срок службы оборудования.
Безопасность эксплуатации обеспечена на высоком уровне: дверца печи оснащена автоматическим отключением питания при открытии, а также реализованы функции защиты от перегрева и защиты от утечек тока, что гарантирует безопасность оператора и сохранность образцов. Электрическая схема использует режим непрерывного нагрева с двухконтурным источником питания, причем проводка сильного и слабого тока выполнена раздельно, что значительно повышает стабильность системы и снижает уровень электромагнитных помех.
Модуль нагрева использует сигнал постоянного тока для регулировки выходной мощности, что позволяет полностью избежать помех от наведенного электричества на управляющий сигнал, обеспечивая точность и воспроизводимость режимов нагрева. Для кнопок управления выбраны низковольтные металлические кнопки с индикаторами состояния, что делает управление безопасным, интуитивно понятным и приятным на ощупь.
Верхний и нижний корпуса печи соединяются с помощью авиационных штекеров, что безопасно, надежно и удобно при сборке и разборке. Узел газового контура изготовлен из пищевой нержавеющей стали марки 316, которая обладает высокой коррозионной стойкостью, устойчивостью к атмосферной коррозии, высокой термостойкостью и, что важно, немагнитна, что критически важно для некоторых физических экспериментов.
Ключевой особенностью данной модели является режим управления: раздельный контроль температуры в двойной зоне нагрева. то есть предусмотрены две независимые нагревательные зоны. Каждая зона оснащена собственным термодатчиком и контуром ПИД-регулирования, что позволяет задавать и поддерживать разные температуры на различных участках рабочей трубки.
Контроллер печи выполнен на базе семидюймового цветного сенсорного экрана с программным контролем температуры, что обеспечивает высокую точность и стабильность поддержания заданных параметров, а также удобный и интуитивно понятный интерфейс для оператора. Режим настройки реализован через сенсорный экран: все параметры задаются простыми касаниями к соответствующим элементам управления, что делает ввод и изменение данных быстрым и комфортным.
Режим отображения осуществляется на цветном ЖК-дисплее высокого разрешения, который одновременно показывает текущие значения температуры для каждой зоны нагрева, заданные уставки, статус работы программы и другие важные параметры, обеспечивая оператора полной и наглядной информацией о ходе процесса в реальном времени. Программный режим поддерживает работу по заданной программе с возможностью записи до 50 шагов (сегментов) в одной программе, при этом предусмотрена регулируемая программа хранения, что позволяет пользователю сохранять, загружать и редактировать различные температурные профили для повторяющихся экспериментов.
Дополнительно реализованы важные вспомогательные функции: функция коррекции позволяет вносить поправки в показания датчиков для компенсации систематических погрешностей и обеспечения максимальной точности измерений; функция записи кривой в реальном времени отображает график изменения температуры на протяжении всего эксперимента; а функция экспорта данных на U-диск даёт возможность сохранять результаты экспериментов для последующего анализа, обработки и документирования на внешнем компьютере, что значительно упрощает ведение лабораторной документации.
Система управления массовым расходом газа цифровой прибор отображения расхода в сотрудничестве с регулятором массового расхода, что позволяет собирать данные и точно контролировать расход газа. Эта система характеризуется хорошей повторяемостью результатов, быстрой скоростью отклика, стабильностью и надежностью работы, что особенно важно для CVD-процессов, требующих точного поддержания газового состава.
Система контроля среднего вакуума обеспечивает как автоматическое управление, так и функцию переключения на ручное управление. В режиме автоматического управления система может автоматически открывать и закрывать вакуумный насос при достижении заданного значения давления, благодаря чему рабочая камера поддерживается в пределах определенного диапазона вакуумного давления без постоянного вмешательства оператора. В режиме ручного управления пользователь непосредственно управляет вакуумным насосом с помощью отдельной кнопки включения и выключения, что позволяет гибко удовлетворять потребности различных экспериментов.
Дополнительно реализована технология медленного пуска соленоидного клапана: соленоидный клапан открывается через 10 секунд после включения вакуумного насоса. Такая задержка позволяет поддерживать точное давление в системе трубчатой печи, а также гарантирует, что отработанный газ не вернется обратно в систему трубопроводов, что могло бы отрицательно повлиять на результаты эксперимента.
Особенности трубчатой печи Laboao CVD-LTF16T80S для лаборатории:
• Диапазон рабочих температур: от +300 до +1 600 °C;
• Размер трубки: диаметр 80 мм, длина 1 200 мм;
• Свободно настраиваемая скорость: от 1°C до 20°C в минуту;
• Режим управления: раздельный контроль температуры в двойной зоне нагрева;
• Контроллер с семидюймовым цветным сенсорным экраном и программным контролем температуры;
• Сенсорный режим настройки, цветной ЖК-дисплей для отображения;
• Программный режим с максимум 50 шагами и регулируемой программой хранения;
• Вспомогательная функция: функция коррекции;
• Запись кривой в реальном времени, экспорт данных на USB-накопитель;
• Печь из поликристаллического муллитового волокна с вакуумной адсорбцией, равномерное температурное поле и энергосбережение более 50%;
• Самостоятельно разработанная технология отвода воздуха и теплоизоляции;
• Автоматический запуск вытяжного вентилятора при включении печи;
• Вытяжной вентилятор продолжает работу до снижения температуры корпуса печи ниже 60 °C, затем автоматически останавливается для эффективной защиты поверхности корпуса;
• Автоматическое отключение питания при открытии дверцы печи, защита от перегрева и защита от утечек для безопасности;
• Непрерывный режим нагрева с двухконтурным источником питания и раздельной проводкой сильного и слабого тока;
• Модуль нагрева с регулировкой выходной мощности сигналом постоянного тока;
• Низковольтные металлические кнопки управления с индикаторами состояния;
• Соединение верхнего и нижнего корпусов печи авиационными разъёмами;
• Газовый контур из пищевой нержавеющей стали 316;
• Цифровой прибор отображения расхода с регулятором массового расхода;
• Хорошая повторяемость, быстрая скорость отклика, стабильность и надёжность;
• Автоматическое и ручное управление вакуумом с автоматическим открытием/закрытием вакуумного насоса через заданное значение;
• Ручной режим для прямого управления вакуумным насосом кнопкой;
• Технология медленного пуска соленоидного клапана с открытием через 10 секунд после включения вакуумного насоса.
У нас можно купить Laboao Laboao CVD-LTF16T80S вакуумная трубчатая печь с температурой нагрева 1 600°C и сенсорным экраном, с доставкой по РФ и низкой ценой на ремонт и обслуживание.
| Характеристика | Значение |
| Диапазон температур, °C | От 300 до 1 600 |
| Разрешение по температуре, °C | 1 |
| Однородность температуры, °C | ±1 |
| Скорость нагрева, °C/мин | От 1 до 20 |
| Длина зоны нагрева, мм | 600 |
| Длина зоны постоянной температуры, мм | 300 |
| Степень вакуума, МПа | -0,1 |
| Время нагрева пустой печи, менее, мин | 15 |
| Внешний вид | Лист стальной холоднокатаный с химически стойким покрытием на поверхности |
| Корпус печи | Поликристаллическое муллитовое волокно |
| Размер печи (Д х Ш х В), мм | 780 х 390 х 330 |
| Трубка печи | Корундовая трубка |
| Размер трубки (диаметр х длина), мм | 80 х 1 200 |
| Обогреватель | Кремний-молибденовый стержень |
| Мощность нагрева, кВт | 10 |
| Теплоизоляционный слой | Двухслойный принудительный отвод воздуха |
| Контроллер | 7-дюймовый цветной сенсорный экран программный контроль температуры |
| Метод управления | Раздельный контроль температуры с двумя температурными зонами S-типа |
| Как установить | Коснитесь пальцем, чтобы установить |
| Метод отображения | Цветной ЖК-дисплей |
| Таймер, ч | 0-999,9 |
| Функция запуска | Работа с фиксированным значением, программная работа |
| Программный режим | 50 шагов могут вызвать сохраненную программу |
| Датчик | Термопара типа S |
| Вспомогательная функция | Функция коррекции, запись кривой в реальном времени, экспорт данных на U-диск |
| Спасательное оборудование | Переключатель защиты от перегрузки по току |
| Количество воздушных путей | 3 канала (количество эфирных каналов можно выбрать в соответствии с конкретными потребностями) |
| Диапазон расхода, куб. см/мин | 0–500 Стандарт азота (стандартный мл/мин, опционально) |
| Точность, % полной шкалы | ±1 |
| Время отклика, не более, с | 4 |
| Рабочая температура (расходомер), °С | От 5 до 45 |
| Рабочее давление / Давление на входе (избыточное давление), МПа | От 0,05 до 0,3 |
| Системное подключение | Применение сильфонов быстрого соединения KF, ручного откидного клапана высокого вакуума и вакуумного измерительного прибора с цифровым дисплеем. |
| Диапазон вакуума системы, Па | От 10 до 100 |
| Вакуумный насос | Теоретическая предельная степень вакуума двухступенчатого механического насоса составляет 3x10-1Па, скорость откачки - 4 л/с, выход воздуха оснащен масляным фильтром, номинальное напряжение - 200 В, мощность - 0,55 кВт |
| Конфигурация системы ССЗ | Вакуумная трубчатая печь на 1600 градусов (двойная температурная зона) Многоканальная система управления массовым потоком Вакуумная система |